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芯片前道制程設備
晶圓探針臺
GPS1200晶圓測試探針臺是晶圓探針檢測的專用設備。它能夠滿足12英寸、8英寸晶圓的測試需求,通過高精度定位平臺、高剛性晶圓承載臺和高分辨率仰視相機(探針相機)及俯視相機(晶圓相機),實現全自動上下晶圓料片、對針和高精度扎針,與測試機配合完成對晶圓上集成電路的品質檢測。
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